Le Sujet : "Une nouvelle méthodologie hybride pour la mesure de rugosités sub-nanométriques"
Un titre c'est bien, mais parfois c'est compliquer à comprendre, alors voici ci-dessous plusieurs explications de mon sujet.
Le principe, ici de "niveau", est de permettre à chacun de comprendre mon sujet en avançant petit à petit dans le domaine. Ainsi,
si vous faites partie des personnes complètements extérieures au domaine de la micro-électronique, avec le premier niveau vous pourrez
comprendre simplement ce que je fais. Dans le cas où votre curiosité se ferait ressentir vous pouvez avancer vers les niveaux supérieurs de compréhension.
Par ailleurs, si vous êtes des plus expérimentés sur le sujet, vous pouvez directement aller au plus haut niveau de détails ne comportant pas
d'abstraction et ainsi découvrir les spécificités de mon sujet.
Vous trouverez aussi, en parcourant cette page, des niveaux dits "spéciaux", je vous laisse les découvrir.
Niveau 1
Pour fabriquer un objet électronique (téléphone, TV, …), la première étape consiste à faire un dessin de ce qui le compose et le reproduir
le plus petit possible. A la reproduction, ces dessins ne sont pas parfaits. Mon sujet consiste dans le contrôle de ces imperfections avec diverses
machines de mesure. Faire une mesure avec différents outils permet d’améliorer la précision de celle-ci. Ceci est essentiel à mon sujet car je dois,
en termes d’échelle, mesurer l’équivalent d’une pièce de deux euros en me situant sur la lune. La mesure de ces imperfections permettra leur réduction
et donc, par exemple, de diminuer les consommations des équipements électroniques.
Niveau 2
En microélectronique, la lithographie est l’étape charnière entre un dessin virtuel est une première version physique de ce que l’on souhaite. En
réduisant sans cesse la dimension des motifs souhaités, notamment des lignes, jusqu’à des dimensions nanométriques, on se heurte à une limitation
tel l'imperfections qu'est la rugosité de bord. Ma thèse prend place avec la mesure de cette rugosité. Pour obtenir des mesures plus proches de la réalité, l’idée
est de prendre différents outils et de croiser les mesures effectuées. Le but étant d’obtenir une mesure avec une résolution de 10% de la taille de nos motifs.
Par suite, cette mesure de rugosité de ligne permettra de développer de nouveaux procédés pour la réduire. Une réduction de la rugosité permet d'abaisser le
courant utilisé lorsqu’un transistor (interrupteur de la microélectronique) ne doit pas laisser passer de courant et donc de diminuer les consommations
des puces électroniques.
Niveau Spécial : Rébus
Niveau 3
La détermination de la rugosité sub nanométrique sur les flancs des motifs, dont les dimensions critiques atteignent une
taille inférieure à 10nm, devient une étape primordiale. Mais à ce jour aucune technique de métrologie n'est suffisamment
robuste pour garantir un résultat juste et précis. Une voie actuellement en cours d'exploration pour la mesure dimensionnelle
consiste à hybrider différentes techniques de métrologie. Pour ce faire, des algorithmes de fusion de données sont développés
afin de traiter les informations issues de multiples équipements de métrologie. Au cours de ces travaux de thèse, cette méthode
sera implémentée pour le cas plus complexe de mesure de la rugosité sub-nanométrique en intégrant des techniques adaptées. Le projet
inclus bien entendu la partie fusion de données avec les algorithmes liés à notre problématique mais aussi, la création des différents
échantillons de référence et la prise de mesures.
Niveau Spécial : Bilingue
Roughness at Sub-nanometric scale determination becomes a critical issue, especially for patterns with critical dimensions
below 10nm. Currently, there is no metrology technique able to provide a result with high precision and accuracy. A way,
based on hybrid metrology, is currently explored and dedicated to dimensional measurements. This hybrid metrology uses data
fusion algorithms in order to address data coming from different tools. During this thesis this method will be implemented for more
complex tasks of the sub-nanometric roughness determination. Well adapted techniques will be used for this hybrid metrology. The thesis project
included the data fusion with the development associated to our problematic but also the design and manufacturing of reference samples
to make measurements with each tools.
